200mm多功能非接触式晶圆厚度&阻值&P/N型态量测仪
MX608
♦ 最多两条直线扫描晶圆,以显示厚度、总厚度变异量 (TTV)、阻值、P/N型态数据
♦ 最多可对晶圆作十字线扫描共57点量测资料
♦ 高产能:一条直线扫描 < 10 sec , 两条直线扫描 < 20 sec
♦ 阻值范围:0.001 - 200 Ohm-cm,P/N型态检查范围: 0.02 – 200 Ohm-cm
♦ 厚度精确度:±0.3 μm,总厚度变异量精确度: ±0.1 μm (1σ)
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