200mm多功能非接触式晶圆厚度&阻值&P/N型态量测仪

MX608

♦ 最多两条直线扫描晶圆，以显示厚度、总厚度变异量  (TTV)、阻值、P/N型态数据

♦ 最多可对晶圆作十字线扫描共57点量测资料

♦ 高产能：一条直线扫描 < 10 sec , 两条直线扫描 < 20   sec

♦ 阻值范围：0.001 - 200 Ohm-cm，P/N型态检查范围:  0.02 – 200 Ohm-cm

♦ 厚度精确度：±0.3 μm，总厚度变异量精确度: ±0.1 μm (1σ)